피보탈 관련 경쟁기업, 히타치 메탈, 호리바 에스텍, 부룩스인스투르먼트
화면 캡처: 2012-07-12 오후 3:05
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화면 캡처: 2012-07-12 오후 3:07
히타치 메탈 (Hitachi Metals )
매스 플로우 콘트롤러
매스 플로우 콘트롤러는 반도체 제조 라인에서 성막·에칭 등을 행하는 가스 공급 시스템 중에서, 정밀하게 가스 유량을 제어하는 역할을 하는 가장 중요한 부품. 반도체 웨이퍼의 대구경화에 수반하여 반도체 제조 장치도 대형화되는 가운데, 가스 공급 시스템에 대한 소형화 요구가 해마다 높아지고 있으며 고성능 정밀 유체 제어 기기가 필요하게 됨.
제품은 크게 두가지 제품군으로 나뉘며, SAM과 Aera가 있음.
히타치 메탈의 경우 한국 대리점에서 직접 납품 하기 보다는 일본에서 직접 발주, 납품하고 있음. 미국, 유럽, 싱가폴에 법인이 있으며.
후에 피보탈이 한국 법인을 중심으로 판매/AS 서비스를 제공할 경우 국내 업체 납품에 강점이 있으리라 판단.
피보탈 제품은 Aera 제품과 외형상 동일하며, 기존의 제품을 교체할 수 있는 교체 수요도 발생할 수 있으리가 생각됨. 하지만 여전히 시스템 통합의 측면에서 문제의 소지가 있을 수 있음.
한편, 히타치 메탈의 경우 이름에서 알 수 있듯이 다른 다양한 제품을 다루고 있으며, 반도체 사업의 경우 대부분의 제품이 원재료 혹은 부품임. 제품중에서 Aera나 SAM의 경우 재료 쪽 보다는 기계설비에 가까우며 제품의 프로트콜이 이더넷 방식이기 때문엔 소프트웨어도 포함되어 있으며, 홈페이지 상으로는 Aera의 경우 기존의 제품의 호환성을 위해서 디지털 조절 방식이 아닌 아날로그 조절 방식의 제품도 판매중임 (2011년), 5,001~10,000 sccm, 10,001~30,000 sccm(디지털), 51,001 ~ 100,000 sccm(아나로그 방식) 제품이 이미 판매중임.
특허 쪽을 확인하면 2012년에 승인 받은 특허는 기존의 제품에 대한 Tuning 기술임. 특허 상에 나타난 그림을 보면 현재의 피보탈 제품과의 원리는 비슷한 것처럼 보이며 피보탈이 주요한 부분이라고 설명하였던 Control Valve의 조절 알고리즘에 대한 것임.
히타치 제품의 특허
기본의 제품보다 세밀하게 튜닝이 되어 오차를 줄여주는 역할을 하는 것으로 보임.
특허는 기기에 대한 특허라기 보다는 알고리즘(디지털 필터)에 대한 특허임.
기존의 계수가 정해져 있었던 반면, 디지털 필터를 사용하여 지속적으로 오류 및 수정 데이터를 저장하여 이를 알고리즘에 다시 적용하여 오차를 줄이는 방식. 이 특허는 2012년 3월에 특허 등록이 됨.
기존의 온도 센서 오류 역시 개선하여 새로운 제품에 적용할 것으로 예상됨.
히타치의 경우 Hitachi Metals 만 연구 개발을 하는 것이 아닌 Hitachi Kokusai Electronic (히타치 국제 전자, 히타치 본사) 역시 같이 개발을 하고 있는 것으로 보임.
Aero의 경우 10만개 정도 납품을 함 (기존의 가장 큰 납품 업체가 10만개 라고 하는데 삼성 팹에서만 15만개라고 하는 것의 의문)
123,456백만엔
123*14.34=1, 7630 0000 0000
1 76,38 2,000, 000,0
히타치의 경우 타기업의 레귤레이터, 필터, 압력변환기, 청정기 등도 같이 연관되어 판매하고 있음. 업체에서는 호환성의 문제가 있기 때문에 이미 검증된 제품을 이용하려 할 수도 있음.
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Brooks Instrument
브룩스는 1948년 설립된 회사로 벨브 관련 다양한 제품을 생산하고 있음.
브룩스의 장점은 Key Instruments 같은 벨브 제조기업을 자회사로 두고 있기 때문에 실제로 MFC를 제작시 제작 비용을 상쇄하여 원가를 낮출 수 있는 장점이 있음.
브룩스는 2009년에만 2건의 M&A를 진행하는 등 공격적인 영업을 하고 있음.
브룩스는 20년간 MFC를 제작하였음.
실제로 브룩스에게는 반도체 시장은 주요 고객이 아니라 8번째 고객군 중에 하위에 속함. 화학, 바이오, 의료 등이 더 큰 시장임(가장 큰 고객은 화학회사 미국 주요 5개 화학회사가 고객임).
한국지사는 분당에 있음. 한국 지사에서 FAE도 담당을 하고 있음. 삼성에 제품 납품 중.
GF100이 반도체 MFC 관련 대표 제품임. 제품의 높은 내구성도 고객이 요구하는 부분임.
디지털화 된 제품은 "Brooks Service Suite" 등의 소프트웨어를 필요로 함.
조절 기술이나 벨브 기술은 뛰어난 것처럼 보이나 이를 디지털화 하여 시각적으로 보여주고 제어하는 기술이 홈페이지 상에서 찾기 어려움.
예상 외로 특허로 검색 되는 기술이 많지 않음.
열감지 MFC의 경우 완성도 높은 제품을 공급하고 있음.
최근에 Semicon West 2012에는 참여하지 않음.
호리바에스텍
2005년에는 중국의 STEC공장 건립으로 아시아 생산 거점 마련. 최신 제품으로는 SEC-Z500X가 있으며 다양한 종류의 가스를 각각의 데이터로 지정, 하나의 소프트웨어를 통해 제어할 수 있는 솔루션으로, 다이얼 방식으로 압력을 조절해 정확한 양을 제어할 수 있으며, 기존 일대일 대응 방식을 탈피해 경제성을 높인 제품.
SEC-Z700X는 Pressure Insensitive 타입의 Mass Flow Module로, 다양한 가스를 제어할 수 있는 기술 이외에도 자가진단기능을 갖춰 제품의 안정성과 신뢰성을 높였으며, 이외에도 유저인터페이스의 디스플레이로 작업자의 편의성을 높인 제품.
가장 공격적인 한국 영업을 하고 있는 업체임.
제품군 MFC가 들어가는 에칭 등에 반도체 프로세스에 해당하는 제품군이 아래와 같으며
각각 제품 혹은 통합적으로 에칭 시스템에 적용하고 있음.
Pressure Insensitive Mass Flow Controller SEC-Z700X series
Mass Flow Module CRITERION series
Pressure Insensitive Mass Flow Controller SEC-Z700X series
Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X series
High Temperature Digital Mass Flow Controller SEC-8000F/D series
Digital Auto Pressure regulator UR-Z700 series
Digital Liquid Mass Flow Meter/Controller LF-F/LV-F series
Mixed Injection MI/MV series
Direct Injection VC series
Compact Baking System LSC series
Residual Gas Analyzer MICROPOLE System
Vapor Consentration Monitor IR-300
그 외에서도 Wet Cleansing, Lithography, Photovoltaic 반도체 제조 공정에 해당하는 제품군을 제조/납품하고 있음.
한편 반도체 제조 장비 자체가 워낙 방대하기 때문에 한가지 라인도 모든 것을 다 만드는 회사가 거의 없음. 따라서 DeviseNet 같은
통신 interface(RS485 시리얼 통신, 아나로그 통신도 사용됨)를 적용하여 각 제품의 호환성을 높이고 있음.
기타 검색 되는 기업들로는
Bronkhorst High-Tech http://www.bronkhorst.com (네델란드) , Sensirion www.sensirion.com (스위스, 아날로그 MFC) 등이 검색이 되었음.
Thermal Sensor Detection PI Mass Flow Module - HORIBA
화면 캡처: 2012-07-12 오전 10:13
Thermal Sensor Detection PI Mass Flow Module - HORIBA
화면 캡처: 2012-07-12 오전 10:21
Thermal Sensor Detection PI Mass Flow Module - HORIBA
화면 캡처: 2012-07-12 오전 10:24
Digital Mass Flow Controller SEC-Z500X series - HORIBA
화면 캡처: 2012-07-12 오전 10:12
Flow Meter, Coriolis Mass Flow, Thermal Mass Flow, and Flow Control Solutions | Brooks Instrument
http://www.brooksinstrument.com/
화면 캡처: 2012-07-12 오전 10:26